產(chǎn)品展示
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◆ 主要用于半導(dǎo)體器件退火及燒結(jié)等工藝，可進(jìn)行真空、氣體保護(hù)等 ◆ 設(shè)備結(jié)構(gòu)新穎,操作方便 ◆ 在一臺(tái)設(shè)備上可以完成多個(gè)工藝流程
◆ 氣相外延是一種單晶薄層生長(zhǎng)方法 ◆ 氣相外延廣義上是化學(xué)氣相沉積的一種特殊方式，其生長(zhǎng)薄層的晶體結(jié)構(gòu)是單晶襯底的延續(xù)，而且與襯底的晶向保持對(duì)應(yīng)的關(guān)系 ◆ 在半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的發(fā)展中，氣相外延發(fā)揮了重要作用 ◆ 砷化蹤(GaAs)氣相外延技術(shù)生長(zhǎng)的砷化鯨(GaAs)純度高、電學(xué)特性好，廣泛的應(yīng)用于霍爾器件、耿氏二極管、場(chǎng)效應(yīng)晶體管等微波器件中
◆ 直拉法晶體生長(zhǎng)專(zhuān)用設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)在高壓、真空和保護(hù)氣氛下直拉生長(zhǎng)晶體 ◆ 采用自動(dòng)稱(chēng)重結(jié)構(gòu)，在保證晶體品質(zhì)的前提下實(shí)現(xiàn)了直拉晶體的自動(dòng)生長(zhǎng)過(guò)程
◆ 本系統(tǒng)是一套完備的石墨烯制備系統(tǒng),包括硬件和軟件部分 ◆ 工作在常壓氣氛或真空條件，通過(guò)控制生長(zhǎng)工藝，既可以生長(zhǎng)出六邊形的石墨烯單晶，也可以生長(zhǎng)出花瓣?duì)畹氖┑膯尉?
? 石墨烯薄膜產(chǎn)業(yè)化設(shè)備 ? 寬幅卷對(duì)卷連續(xù)生長(zhǎng) ? APC系統(tǒng):真空蝶閥自動(dòng)控制 ? 碳源等工藝氣體MFC控制 ? 薄膜制備過(guò)程全自動(dòng)控制 ? 三腔室結(jié)構(gòu)
◆ 快速退火爐是利用紅外熱輻射實(shí)現(xiàn)快速加熱的一種半導(dǎo)體熱處理工藝設(shè)備，通過(guò)燈光輻射型熱源功率控制模塊裝置和專(zhuān)用燈組對(duì)位于工藝腔體的半導(dǎo)體硅片進(jìn)行快速加熱來(lái)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的升溫過(guò)程