產(chǎn)品展示
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◆ 直拉法晶體生長(zhǎng)專用設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)在高壓、真空和保護(hù)氣氛下直拉生長(zhǎng)晶體 ◆ 采用自動(dòng)稱重結(jié)構(gòu)，在保證晶體品質(zhì)的前提下實(shí)現(xiàn)了直拉晶體的自動(dòng)生長(zhǎng)過(guò)程
◆ 本系統(tǒng)是一套完備的石墨烯制備系統(tǒng),包括硬件和軟件部分 ◆ 工作在常壓氣氛或真空條件，通過(guò)控制生長(zhǎng)工藝，既可以生長(zhǎng)出六邊形的石墨烯單晶，也可以生長(zhǎng)出花瓣?duì)畹氖┑膯尉?
? 石墨烯薄膜產(chǎn)業(yè)化設(shè)備 ? 寬幅卷對(duì)卷連續(xù)生長(zhǎng) ? APC系統(tǒng):真空蝶閥自動(dòng)控制 ? 碳源等工藝氣體MFC控制 ? 薄膜制備過(guò)程全自動(dòng)控制 ? 三腔室結(jié)構(gòu)
◆ 快速退火爐是利用紅外熱輻射實(shí)現(xiàn)快速加熱的一種半導(dǎo)體熱處理工藝設(shè)備，通過(guò)燈光輻射型熱源功率控制模塊裝置和專用燈組對(duì)位于工藝腔體的半導(dǎo)體硅片進(jìn)行快速加熱來(lái)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的升溫過(guò)程