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◆ 直拉法晶體生長專用設備，可實現(xiàn)在高壓、真空和保護氣氛下直拉生長晶體 ◆ 采用自動稱重結構，在保證晶體品質的前提下實現(xiàn)了直拉晶體的自動生長過程
◆ 本系統(tǒng)是一套完備的石墨烯制備系統(tǒng),包括硬件和軟件部分 ◆ 工作在常壓氣氛或真空條件，通過控制生長工藝，既可以生長出六邊形的石墨烯單晶，也可以生長出花瓣狀的石墨烯的單晶
? 石墨烯薄膜產業(yè)化設備 ? 寬幅卷對卷連續(xù)生長 ? APC系統(tǒng):真空蝶閥自動控制 ? 碳源等工藝氣體MFC控制 ? 薄膜制備過程全自動控制 ? 三腔室結構
◆ 快速退火爐是利用紅外熱輻射實現(xiàn)快速加熱的一種半導體熱處理工藝設備，通過燈光輻射型熱源功率控制模塊裝置和專用燈組對位于工藝腔體的半導體硅片進行快速加熱來實現(xiàn)穩(wěn)定的升溫過程