山東力冠微電子裝備

產(chǎn)品展示


石墨烯薄膜CVD設(shè)備

◆ 本系統(tǒng)是一套完備的石墨烯制備系統(tǒng),包括硬件和軟件部分 ◆ 工作在常壓氣氛或真空條件,通過控制生長工藝,既可以生長出六邊形的石墨烯單晶,也可以生長出花瓣?duì)畹氖┑膯尉?

石墨烯卷對(duì)卷

? 石墨烯薄膜產(chǎn)業(yè)化設(shè)備 ? 寬幅卷對(duì)卷連續(xù)生長 ? APC系統(tǒng):真空蝶閥自動(dòng)控制 ? 碳源等工藝氣體MFC控制 ? 薄膜制備過程全自動(dòng)控制 ? 三腔室結(jié)構(gòu)

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