產(chǎn)品展示
◆ 主要用于半導(dǎo)體器件退火及燒結(jié)等工藝，可進(jìn)行真空、氣體保護(hù)等 ◆ 設(shè)備結(jié)構(gòu)新穎,操作方便 ◆ 在一臺設(shè)備上可以完成多個工藝流程
◆ 氣相外延是一種單晶薄層生長方法 ◆ 氣相外延廣義上是化學(xué)氣相沉積的一種特殊方式，其生長薄層的晶體結(jié)構(gòu)是單晶襯底的延續(xù)，而且與襯底的晶向保持對應(yīng)的關(guān)系 ◆ 在半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的發(fā)展中，氣相外延發(fā)揮了重要作用 ◆ 砷化蹤(GaAs)氣相外延技術(shù)生長的砷化鯨(GaAs)純度高、電學(xué)特性好，廣泛的應(yīng)用于霍爾器件、耿氏二極管、場效應(yīng)晶體管等微波器件中
◆ 直拉法晶體生長專用設(shè)備，可實現(xiàn)在高壓、真空和保護(hù)氣氛下直拉生長晶體 ◆ 采用自動稱重結(jié)構(gòu)，在保證晶體品質(zhì)的前提下實現(xiàn)了直拉晶體的自動生長過程
◆ 本系統(tǒng)是一套完備的石墨烯制備系統(tǒng),包括硬件和軟件部分 ◆ 工作在常壓氣氛或真空條件，通過控制生長工藝，既可以生長出六邊形的石墨烯單晶，也可以生長出花瓣狀的石墨烯的單晶
? 石墨烯薄膜產(chǎn)業(yè)化設(shè)備 ? 寬幅卷對卷連續(xù)生長 ? APC系統(tǒng):真空蝶閥自動控制 ? 碳源等工藝氣體MFC控制 ? 薄膜制備過程全自動控制 ? 三腔室結(jié)構(gòu)
◆ 快速退火爐是利用紅外熱輻射實現(xiàn)快速加熱的一種半導(dǎo)體熱處理工藝設(shè)備，通過燈光輻射型熱源功率控制模塊裝置和專用燈組對位于工藝腔體的半導(dǎo)體硅片進(jìn)行快速加熱來實現(xiàn)穩(wěn)定的升溫過程